產品介紹：
通過對(dui)特(te)殊材料進(jin)行高(gao)精度(du)的切(qie)割(ge)、研磨、拋光(guang)等(deng)冷(leng)加工(gong)工序(xu)，達(da)到表(biao)麵粗糙度≤1nm、TTV≤5μm等表麵要(yao)求
技術特點(dian)及(ji)優(you)勢：
冷加工全製(zhi)程(cheng)：可(ke)提供(gong)4、6、8、12寸(cun)不(bu)同(tong)尺寸的產品
產品應用：
半(ban)導體(ti)襯底、半導(dao)體封(feng)裝(zhuang)、半導體承載等高精度領(ling)域
參數 | 玻璃晶(jing)圓(yuan)片規(gui)格(ge) |
材(cai)料 | 玻(bo)璃(li)、石(shi)英等 |
形狀(zhuang) | 圓形(xing) |
外(wai)徑 | 3”——12”寸等 |
外徑尺寸 | 76.2mm——300mm |
外徑(jing)公差 | ±0.05mm |
厚度 | 0.1mm——2.0mm |
最小(xiao)厚度 | 0.1mm |
TTV | <3μm |
BOW | <20μm |
WARP | <30μm |
外觀質量 | 20/10 |
粗糙度 | Ra<5nm |
倒(dao)邊(bian) | 45°，C0.2+/-0.1mm |
* 備注：可以(yi)根據(ju)客戶(hu)需(xu)求定(ding)製 | |
電(dian)話：0573-82868982
傳(chuan)真：0573-82868981
郵(you)箱： admin@pylzi-roc.onaliyun.com
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